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這是一個(gè)老問題了。從工作機(jī)理來說，分子泵對油蒸汽的壓縮比很高，即使前級有油蒸汽存在，高真空室通常無法檢測到油蒸汽，所以，往往被稱為“無油”泵。其實(shí)，上述說法只有在分子泵操作步驟合理時(shí)才能成立。分子泵處于停止?fàn)顟B(tài)，泵的軸承（磁懸浮軸承除外）和前級泵（干式前級泵除外）的潤滑油蒸汽可能擴(kuò)散到高真空室。1）停泵狀態(tài)：氣體的擴(kuò)散速度與壓強(qiáng)平方成反比。停泵狀態(tài)，只要壓強(qiáng)＞50Pa，對大部分用戶來說，油蒸汽的擴(kuò)散可以忽略，可以認(rèn)為“無油”。2）制動過程：分子泵制動過程中，真空室壓強(qiáng)逐漸升高...

1、真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位通常用托（Torr）為單位，近年上取用帕（Pa）作為單位。1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

前級泵抽速選擇排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg－前級泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵臨界前級壓強(qiáng)(zui大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg－真空室zui高工作壓強(qiáng)(托)S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)

擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t－油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P－在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)K－滴管系數(shù)(托·升/秒)K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)L－滴管刻度部分的長度(mm)n－滴管刻度部分的格數(shù)(格)Υ0－油的比重(克/厘米3)Υm－汞的比重(克/厘米3)Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)△Vt－滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容...

INFICON電容薄膜規(guī)的特點(diǎn)：1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成2、在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量3、快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率4、的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性5、由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性6、對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定7、快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)8、一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整9、抗腐蝕超純陶瓷傳感器10、能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡...

真空系統(tǒng)常用名稱(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處...

加熱型薄膜規(guī)壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度1、零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）2、更高的精度3、環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響4、比工藝更快的預(yù)熱啟動時(shí)間’5、快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓6、任意安裝角度7、抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響

電容薄膜規(guī)要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測量1、用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1...

INFICON皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)1.各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)2.各種中低真空測量，如照明，冶金3.真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG1004.PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn))與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用6.PS...

皮拉尼真空計(jì)具體型號lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號同時(shí)采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍

INFICON石英監(jiān)控器晶體用于真空應(yīng)用的石英監(jiān)控器晶體石英晶體是QCM系統(tǒng)中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標(biāo)準(zhǔn)INFICON監(jiān)控器或控制器以及INFICON（或其他制造商的）單、雙或多晶體傳感器的真空應(yīng)用。INFICON推出各種晶體和包裝，可隨時(shí)為您提供所需的晶體。標(biāo)準(zhǔn)AT切割的1in.(25.4mm)直徑晶體主要用于INFICONRQCM（石英晶體微天平研究系統(tǒng)）和PLO-10i系統(tǒng)的研究應(yīng)用。這些研究晶體設(shè)計(jì)用在INFICON牢固且使用方便的晶體支架上，對沉積薄...

INFICON電容薄膜規(guī)CDG025D/045D/100D可以*替代美國MKS電容薄膜規(guī)622A/626A/627D/628D，例如：622A11TDE,626A11TDE,626B13TDE,626B01TDE,627D01TDC1B